CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列

    CIF推出全新一代CPC-G系列小型等離子體清洗設備,顛覆傳統等離子體清洗設備設計理念,采用頂置真空倉,上開蓋下壓式鉸鏈開關方式,上置式360度自由取放樣品托盤設計,具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室使用。
  1. 詳細信息

  

產品特點

PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。

7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。

手動、自動兩種工作模式。

數字流量計控制,控制更準確。

符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

頂置真空倉,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式。

上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

技術參數

型號

CPC-G

CPC- G plus

艙體尺寸

H120xΦ270mm  

H120xΦ270mm

艙體容積

6.8L

6.8L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動匹配

自動匹配

射頻功率

10-300W可調

10-150W可調

氣體控制

質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)

有效處理尺寸

Φ270mm 圓盤

產品尺寸

L525xW425xH345mm

包裝尺寸

L645xW540xH560mm  

時間設定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

氣體穩定時間

1分鐘

真空度

100pa以內

AC220V 50-60Hz 

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